宇闻讯赶来。
他没有去调整镜片,而是仔细观察了那个沉重的金属镜筒。
“贺工,问题可能出在‘硬碰硬’上。”
他指着镜筒与透镜座的连接处,“传统的刚性连接,会让镜筒加工的微小误差,直接强加给透镜,导致透镜变形。
我们,需要一点‘柔性’。”
他拿起笔,在图纸上,画出了一个特殊的结构。
他在镜筒的内壁,设计了一圈微小的,如同弹簧般的“柔性铰链”
结构。
“我们利用金属的微小弹性变形,来吸收和补偿装配误差。
就像我们古建筑里的榫卯结构,看似松动,实则稳固,且能自动适应应力变化。”
“这叫——柔性支撑技术!”
贺云飞看着那个巧妙的设计,眼睛瞬间亮了!
“妙!
太妙了!
以柔克刚,化整为零!
我怎么就没想到!”
经过改进后的镜筒,再次进行装配。
这一次,奇迹生了。
当最后一片透镜安装到位,干涉仪上的波面图,呈现出了完美的同心圆!
像差,被成功控制在了衍射极限以内!
第一套合格的投影物镜系统,终于组装完成!
所有的拼图,终于凑齐。
在一个激动人心的夜晚,“神光一号”
光刻机的主机,第一次被完整地组装了起来。
光源系统启动,深紫色的紫外光,经过匀光系统,穿过掩膜版,进入了那套昂贵的物镜系统。
在“女娲”
系统的精准控制下,在“龙渊”
工件台的平稳移动中。
那束光,最终,精准地聚焦在了一片,涂满了“影青一号”
光刻胶的硅片之上。
曝光!
显影!
当那片硅片,被放到高倍电子显微镜下时。
贺云飞,这位为中国光刻机事业奋斗了半辈子的老人,颤抖着手,调节着焦距。
视野逐渐清晰。
一条条,边缘锐利,线条笔直,宽度只有o8微米的电路图案,如同大地上的沟壑,清晰地,展现在了他的眼前!
没有断裂,没有毛刺,没有粘连!
完美!
贺云飞猛地抬起头,泪水,早已模糊了他的双眼。
他看着身边的李晓宇,看着周围那些同样激动得泣不成声的年轻人们,用一种,仿佛用尽了全身力气的声音,颤抖着说道:
“我们……看见了……”
“我们看见了,微观世界的……长城!”