第146章 三院鼎立神光初现(1 / 2)

1993年的冬天,对于江州“工业长城”

基地来说,是一个充满了变革与希望的季节。

几辆满载着设备和行李的大巴车,缓缓驶入了园区。

车上坐着的,正是贺云飞和他那支,在上海坚守了数年,如今终于等来了春天的光刻机研团队。

当贺云飞走下车,看着眼前那座气势恢宏的研大楼,看着那一栋栋崭新明亮的专家公寓,以及远处那连绵成片,日夜轰鸣的现代化厂房时。

这位受尽了冷遇和经费短缺之苦的老专家,眼眶湿润了。

“贺工,欢迎回家。”

李建国热情地迎了上去,握住他的手,“房子都安排好了,实验室也准备就绪。

在这里,您只需要操心一件事——技术。

其他的,交给我们!”

贺云飞重重地点了点头。

他知道,从今天起,他和他的团队,终于有了一个,可以安心铸剑的家。

为了迎接这支“新军”

,李晓宇再次对“工业长城”

的组织架构,进行了一次重大的战略调整。

在随后召开的全体扩大会议上,他正式宣布:

成立“微电子装备研究院”

由贺云飞担任任院长,张承平院士担任席科学家。

至此,以秦振华领导的“精密制造总院”

、林涛领导的“算法与软件研究院”

,以及新成立的“微电子装备研究院”

为核心的,“三院鼎立”

的宏大战略格局,在“工业长城”

正式成型!

这三大支柱,如同一只巨大的鼎,稳稳地托起了中国未来高端工业的脊梁。

“神光”

计划,在这个全新的架构下,立刻进入了快车道。

在第一次技术路线研讨会上,李晓宇面对着贺云飞、张承平以及数十位光学、电子、机械领域的顶尖专家,拍板定下了“神光一号”

的技术指标。

“我们不能好高骛远,但也绝不能固步自封。”

李晓宇指着白板上的技术路线图,沉声说道。

“直接上深紫外(v)还不现实,我们的配套产业链还跟不上。

但是,我们也绝不能再去搞那些落后的接触式光刻机。”

“我们要做的,是分步重复投影光刻机(stepper)!”

“光源,采用我们自己能造的高压汞灯(g线)。

分辨率目标,死死咬住o8微米!

这个精度,虽然比不上国际最顶尖的水平,但足够满足我们国家目前急需的,工业控制芯片和消费电子芯片的制造需求!”

“我们要先解决‘有无’的问题,再解决‘好坏’的问题!”

一场史无前例的“多兵种协同作战”

,在李晓宇的指挥下,轰轰烈烈地展开了。

精密制造总院承担了“骨骼”

的制造。

秦振华调集了最精锐的力量,利用“盘龙母机”

那恐怖的加工能力,为光刻机打造出了一个,重达数吨,但在微观层面却平整如镜的花岗岩基座和精密导轨系统。

算法研究院承担了“神经”

的连接。

林涛带领着他的软件天才们,开始攻克光刻机最核心的控制难题——纳米级工件台对准算法。

他们惊讶地现,光刻机对运动精度的要求,竟然比五轴机床还要高出两个数量级!

这对他们的算法架构,提出了前所未有的挑战。

而微电子研究院,则在贺云飞的带领下,向着光刻机的心脏——投影物镜系统,起了决死冲锋!

每一天,实验室里都灯火通明